सेमीकंडक्टर उद्योग में क्लीनरूम के लिए आवश्यकताएँ

सेमीकंडक्टर उद्योग में क्लीन रूम के लिए आवश्यकताएं इस प्रकार हैं:
1. उच्च स्वच्छता आवश्यकताएं
सेमीकंडक्टर निर्माण को एक बहुत ही सख्त स्वच्छ वातावरण की आवश्यकता होती है। क्लीनरूम में हवा की स्वच्छता विभिन्न सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं की आवश्यकताओं के आधार पर भिन्न होती है, आमतौर पर क्लास 1 (1 से कम या उसके बराबर 0.1 माइक्रोन कण प्रति घन फुट) से क्लास 100 (100 से कम या उसके बराबर 0.5 माइक्रोन कण प्रति घन फुट) के मानकों को पूरा करती है।
2. सटीक तापमान और आर्द्रता नियंत्रण
सेमीकंडक्टर सामग्री तापमान और आर्द्रता के प्रति अत्यधिक संवेदनशील होती है। क्लीनरूम को 20-25 डिग्री सेल्सियस पर सख्ती से नियंत्रित करने की आवश्यकता होती है, जिसमें 40-60% की सापेक्षिक आर्द्रता सीमा होती है और उतार-चढ़ाव ± 1 डिग्री सेल्सियस और ± 5% आरएच से अधिक नहीं होता है।
3. विश्वसनीय और स्थिर बिजली आपूर्ति और वितरण
क्लीन रूम को स्थिर और अनावश्यक बिजली आपूर्ति प्रदान करने के लिए एक समर्पित बिजली आपूर्ति और वितरण प्रणाली की आवश्यकता होती है, जो प्रक्रिया उपकरण के सामान्य और निर्बाध संचालन को सुनिश्चित करती है। साथ ही, बिजली के हस्तक्षेप को रोकने के लिए सुरक्षा और फ़िल्टरिंग फ़ंक्शन होना आवश्यक है।
4. धूल-मुक्त हवा का उचित प्रवाह
क्लीन रूम को उचित वायु प्रवाह वितरण और बिना मृत कोनों को सुनिश्चित करने के लिए धूल-मुक्त हवा निस्पंदन और परिसंचरण प्रणालियों से लैस करने की आवश्यकता होती है, ताकि स्वच्छ हवा हर कोने तक पूरी तरह से पहुंच सके। बाहरी हवा को वापस बहने या परेशान करने से रोकने के लिए वायु प्रवाह की गति और वायु दाब को भी सख्ती से नियंत्रित किया जाना चाहिए।
5. पूर्ण भूकंपीय डिजाइन
सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं की स्थिरता आवश्यकताओं को ध्यान में रखते हुए, क्लीन रूम को आमतौर पर प्रक्रिया पर बाहरी कंपन के प्रभाव को कम करने के लिए झटके प्रतिरोधी उपायों को अपनाने की आवश्यकता होती है। नींव पर्याप्त रूप से स्थिर होनी चाहिए और बफरिंग उपकरणों से लैस होनी चाहिए।
6. सामग्री चयन धूल-मुक्त और प्रदूषण-मुक्त है
क्लीन रूम की सतह सामग्री धूल-मुक्त और प्रदूषण-मुक्त होनी चाहिए, और कण उत्पन्न नहीं करेगी। स्टेनलेस स्टील, एल्यूमीनियम प्लेट, टेम्पर्ड ग्लास और अन्य सामग्रियों का आमतौर पर उपयोग किया जाता है। धूल को प्रवेश करने से रोकने के लिए प्रवेश द्वार पर एक एयर कर्टेन स्थापित करने की आवश्यकता होती है।